电热装置基本技术条件 第410部分：单晶炉
Basic specifications for electroheat installations―Part 410: Single crystal growing furnace
标准状态
发布于：2014-12-05
实施于：2015-04-16
废止
基本信息
GB/T 10067.410-2014
现行
2014-12-05
2015-04-16
中国电器工业协会
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
中国电器工业协会
西安电炉研究所有限公司、西安理工晶科股份有限公司、国家电炉质量监督检验中心、江苏华盛天龙光电设备股份有限公司、中冶电炉工程技术中心、陕西省电炉工程技术研究中心
陈巨才、李留臣、朱琳、袁芳兰、束天和
标准简介
GB／T 10067的本部分规定了对TDR晶体炉的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。 本部分适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。
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