硅多晶气氛区熔基磷检验方法

Polycrystalline silicon - examination method - zone - melting on phosphorus under controlled atomosphere

GB/T 4059-2007已废止国家标准

标准状态

发布于：2007-09-11

实施于：2008-02-01

已废止

标准号GB/T 4059-2007

标准状态已废止

发布日期2007-09-11

实施日期2008-02-01

中国标准分类号H17 半金属及半导体材料分析方法

国际标准分类号77.040.01 金属材料试验综合

主管部门中国有色金属工业协会

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口中国有色金属工业协会

代替标准GB/T 4059-1983

起草单位蛾眉半导体材料厂

本标准适用于多晶硅沉积在硅芯上生长的多晶硅棒基磷的检验。本标准检测杂质浓度的有效范围：0．002×10-9～100×10-9。