正压悬浮区熔单晶硅炉

SJ/T 11853-2022现行行业标准

标准状态

发布于：2022-10-20

实施于：2023-01-01

废止

标准号SJ/T 11853-2022

标准状态现行

发布日期2022-10-20

实施日期2023-01-01

中国标准分类号L97 加工专用设备

国际标准分类号31.220 电子电信设备用机电元件

发布部门工业和信息化部

技术归口工业和信息化部

提出单位工业和信息化部

起草单位浙江晶盛机电股份有限公司、浙江晶鸿精密机械制造有限公司、浙江求是半导体设备有限公司、天津中环领先材料技术有限公司、中国电子技术标准化研究院

起草人曹建伟、朱亮、傅林坚、张俊、郑丽霞、叶钢飞、刘嘉、王遵义、孙健、曹可慰、吴怡然、李其聪

本文件规定了正压悬浮区熔单晶硅炉（以下简称“区熔炉”）的产品标记和主要参数、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、储存。本文件适用于以高纯多晶硅做原料，采用悬浮区熔法进行半导体级单晶硅生长的单晶硅炉。