硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法
Test method for detection of oxidation induced defects in polished silicon wafers
标准状态
发布于：1995-04-18
实施于：1995-12-01
已废止
基本信息
GB/T 4058-1995
已废止
1995-04-18
1995-12-01
国家标准化管理委员会
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
峨嵋半导体材料厂
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Test method for detection of oxidation induced defects in polished silicon wafers