硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范

Specification for photoresist/E-beam resist for hard surface photoplates

GB/T 16527-1996现行国家标准

标准状态

发布于：1996-09-09

实施于：1997-05-01

废止

标准号GB/T 16527-1996

标准状态现行

发布日期1996-09-09

实施日期1997-05-01

中国标准分类号L90 电子技术专用材料

国际标准分类号31.200 集成电路、微电子学

主管部门国家标准委

技术归口国家标准委

起草单位长沙韶光微电子总公司

本标准规定了硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂涂层的要求、试验方法等内容。本标准适用于硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂的涂层检验。