半导体设施接口技术文件编写导则

Directives for drafting semiconductor facilities interface specification

GB/T 15873-1995现行国家标准

标准状态

发布于：1995-12-22

实施于：1996-08-01

废止

标准号GB/T 15873-1995

标准状态现行

发布日期1995-12-22

实施日期1996-08-01

中国标准分类号L97 加工专用设备

国际标准分类号31.220.10 插头和插座装置、连接器

主管部门工业和信息化部（电子）

技术归口工业和信息化部（电子）

起草单位中国华晶电子集团公司

本标准规定了半导体设施接口技术文件（以下简称接口文件）编写的基本要求和格式。本标准适用于半导体设施的设计、施工、供应、管理、培训及使用。