离子注入机通用技术条件

Generic specification for ion implantation equipment

GB/T 15862-1995已废止国家标准

标准状态

发布于：1995-12-22

实施于：1996-08-01

已废止

标准号GB/T 15862-1995

标准状态已废止

发布日期1995-12-22

实施日期1996-08-01

中国标准分类号L97 加工专用设备

国际标准分类号31.200 集成电路、微电子学

主管部门工业和信息化部（电子）

技术归口工业和信息化部（电子）

起草单位电子工业部第四十八研究所

本标准规定了离子注入机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、贮存。本标准适用于半导体工艺用电能离子注入机。其他离子注入机亦可参照使用。