集成电路晶圆厂用天车传送系统通用技术要求
General technical requirements for overhead hoist transfer system used in integrated circuit wafer factory
标准状态
发布于：2024-06-07
实施于：2024-07-07
废止
基本信息
T/SICA 006-2024
现行
2024-06-07
2024-07-07
上海市集成电路行业协会
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