砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法

Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference

GB/T 8758-2006现行国家标准

标准状态

发布于：2006-07-18

实施于：2006-11-01

废止

标准号GB/T 8758-2006

标准状态现行

发布日期2006-07-18

实施日期2006-11-01

中国标准分类号H17 半金属及半导体材料分析方法

国际标准分类号77.040.01 金属材料试验综合

主管部门国家标准委

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

代替标准GB/T 8758-1988、GB/T 8758-1989

起草单位北京有色金属研究总院

起草人王彤涵

本标准适用于砷化镓外延层厚度的测量，测量厚度大于2μm。要求衬底材料的电阴率小于0.02Ω?cm，外延层的电阴率大于0.1Ω?cm。