化学气相沉积炉

标准状态

基本信息

标准简介

本文件规定了化学气相沉积炉的结构型式与组成、技术要求、试验方法、检验规则和技术分级、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。本文件适用于制备金属及金属合金材料、金属复合材料、碳及碳化硅材料、无机材料等的化学气相沉积炉