白光干涉轮廓仪校准规范
Calibration Specification for White Light Interference Profiler
标准状态
发布于：2023-01-09
实施于：2023-03-01
废止
基本信息
JJF（皖）146-2023
现行
2023-01-09
2023-03-01
安徽省几何量计量技术委员会
安徽省计量科学研究院、安徽省长江计量所、深圳市中图仪器股份有限公司、中国计量大学、合肥一煊检测技术有限公司、中乾格致精密测量技术(杭州)有限公司
丁晨(安徽省计量科学研究院)、童树之(安徽省长江计量所)、邢献军(安徽省计量科学研究院)、石韡(安徽省长江计量所)、蒋加平(安徽省长江计量所)、刘见桥(深圳市中图仪器股份有限公司)、程银宝(中国计量大学)、魏超(合肥一煊检测技术有限公司)、崔洪彬(中乾格致精密测量技术(杭州)有限公司)
标准简介
白光干涉轮廓仪主要用于样品微纳级表面粗糙度、台阶高度等表面形貌特征的测量和分析，在纳米科学、材料科学等研究领域以及半导体、微电子等行业中广泛应用。 白光干涉轮廓仪主要由光学系统、运动电机、扫描模块和测量软件等组成，其光学系统主要有照明光路和成像光路两个部分。
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