离子束蚀刻机通用规范

General specification of ion beam etching system

GB/T 15861-2012现行国家标准

标准状态

发布于：2012-11-05

实施于：2013-02-15

废止

标准号GB/T 15861-2012

标准状态现行

发布日期2012-11-05

实施日期2013-02-15

中国标准分类号L97 加工专用设备

主管部门工业和信息化部（电子）

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口工业和信息化部（电子）

代替标准GB/T 15861-1995

起草单位中国电子科技集团公司第四十八研究所

起草人陈特超、周大良

本标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存。 u3000u3000 u3000u3000本标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。其它专用离子束蚀刻机亦可参照执行。