硅外延层载流子浓度测定和探针电容--电压法
Silicon epitaxial layers--Determination of carrier concentration--Mercury probe Valtage-capacitance method
标准状态
发布于：1993-02-06
实施于：1993-10-01
已废止
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Silicon epitaxial layers--Determination of carrier concentration--Mercury probe Valtage-capacitance method