纳米技术 亚纳米厚度石墨烯薄膜载流子迁移率及方块电阻测量方法
Nanotechnology—Measurement methods for carrier mobility and sheet resistance of graphene films of sub-nanometer thickness
标准状态
发布于：2024-03-15
实施于：2024-07-01
废止
基本信息
GB/T 43682-2024
现行
2024-03-15
2024-07-01
中国科学院
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
中国科学院
中国科学院
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标准简介
本文件描述了亚纳米厚度石墨烯薄膜的霍尔器件样品制备与载流子迁移率及方块电阻测量的原理、设备、器件制备及测量过程、计算方法、不确定度的分析与计算，以及测量报告等。 本文件适用于长度和宽度均大于100μm的亚纳米厚度石墨烯薄膜的载流子迁移率(4cm2/Vs）和方块电阻的测量。
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