溅射用钽靶材
标准状态
发布于：2015-04-30
实施于：2015-10-01
废止
基本信息
YS/T 1024-2015
现行
2015-04-30
2015-10-01
工业和信息化部
全国有色金属标准化技术委员会
宁夏东方钽业股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司等
钟景明、李桂鹏、汪凯等
标准简介
本标准适用于以真空电子束熔炼的高纯钽锭为原料，通过塑性加工、热处理、机械加工、焊接等方法制造的溅射用钽靶材（以下简称钽靶材）
内容预览
本标准适用于以真空电子束熔炼的高纯钽锭为原料，通过塑性加工、热处理、机械加工、焊接等方法制造的溅射用钽靶材（以下简称钽靶材）