高纯三氧化二镓杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法

YS/T 980-2014现行行业标准

标准状态

发布于：2014-10-14

实施于：2015-04-01

废止

标准号YS/T 980-2014

标准状态现行

发布日期2014-10-14

实施日期2015-04-01

中国标准分类号H17 半金属及半导体材料分析方法

国际标准分类号77.040.30 金属材料化学分析

发布部门工业和信息化部

技术归口全国有色金属标准化技术委员会

起草单位峨嵋半导体材料研究所、南京中锗科技股份有限公司等

起草人刘爱华、孙平等

本标准规定了高纯三氧化二镓中杂质元素含量的测定方法。本标准适用于高纯三氧化二镓中钠、镁、钙、钛、钒、铬、锰、铁、镍、钴、铜、锌、锡、铅、铟含量的测定。各元素测定范围为1×10-6%～4×10-5%。