电子工业用气体 六氟化钨
Gases for electronic industry—Tungsten hexaflouride
标准状态
发布于：2015-12-31
实施于：2016-07-01
废止
基本信息
GB/T 32386-2015
现行
2015-12-31
2016-07-01
国家标准委
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
中国船舶重工集团公司第七一八研究所、西南化工研究设计院有限公司、上海仪盟电子科技有限公司、厦门钨业股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司
郑秋艳、江海风、林竹光、王志信、周鹏云、王占卫、方兰兰、方华、杨仁
标准简介
本标准规定了六氟化钨的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。 本标准适用于化学合成法制取并经精制纯化的六氟化钨。该产品主要用于电子工业中金属钨化学气相沉积工艺、钨材料的制备等。 分子式:WF6。 分子量:297.830419 2(按2009年国际相对原子质量计算)。
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