镍铂靶材

标准状态

基本信息

标准简介

本文件规定了镍铂靶材的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。本文件适用于制备半导体薄膜用的各类镍铂靶材产品。