掺氮吸气剂释氮吸气动态曲线测试方法

Test method for nitrogen-released and gas-absorbed dynamic curve of nitrogen-doped getter

GB/T 9506.5-1988已废止国家标准

标准状态

发布于：1988-06-25

实施于：1988-12-01

已废止

标准号GB/T 9506.5-1988

标准状态已废止

发布日期1988-06-25

实施日期1988-12-01

中国标准分类号L32

国际标准分类号31.030 电子技术专用材料

主管部门国家标准化管理委员会

技术归口全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位上海电子管二厂