表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率、分析面积和分析器所能检测到的样品面积的测定
Surface chemical analysis - Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy - determination of lateral resolution, analysis area, and sample area viewed by the analyser
标准状态
发布于：2013-07-19
实施于：2014-03-01
废止
基本信息
GB/T 29556-2013
现行
2013-07-19
2014-03-01
中国科学院
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
中国科学院
厦门爱劳德光电有限公司、中国科学院化学所、清华大学化学系
王水菊、岑丹霞、刘芬、姚文清、李展平
标准简介
本标准规定了俄歇电子能谱和X射线光电子能谱横向分辨率、分析面积和分析器所能检测到的样品面积的测量方法。本标准适用于俄歇电子能谱和X射线光电子能谱横向分辨率、分析面积和分析器的检测。
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