微机电系统(MEMS)技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法
Micro electromechanical system technology—Test method for the nonlinear vibration of the MEMS resonant sensitive element
标准状态
发布于：2017-11-01
实施于：2018-05-01
废止
基本信息
GB/T 34898-2017
现行
2017-11-01
2018-05-01
国家标准委
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
北京遥测技术研究所、中机生产力促进中心
李庆丰、金小锋、程红兵、李海斌、朱悦
标准简介
本标准规定了谐振式传感器中MEMS谐振敏感元件（以下简称敏感元件）非线性振动特性参数的测试方法。 本标准适用于敏感元件在研制和生产过程中关于非线性振动特性和敏感元件闭环系统频率偏移的测试，其他非MEMS敏感元件可参考使用。
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