X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告
Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry—Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting
标准状态
发布于：2018-03-15
实施于：2019-02-01
废止
基本信息
GB/T 36053-2018
现行
2018-03-15
2019-02-01
中国科学院
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
中国科学院
中国计量科学研究院
王海、王梅玲、张艾蕊、宋小平
标准简介
本标准规定了通过X射线反射技术（XRR）来测量平面衬底上厚度介于约1nm~1μm之间的单层和多层薄膜的厚度、密度和界面宽度的方法。 本方法使用单色化的平行光进行角度或散射矢量扫描。类似的考虑事项适用于使用分布式探测器进行平行数据采集的会聚光束或者扫描波长的情形，但本标准不描述这些方法。对于x射线漫反射技术而言，实验要求是相似的，但本标准不包括这部分内容。 测量可在具有不同配置的设备上进行。这些设备包含实验室仪器、同步辐射光束线上的反射率计以及工业中的自动系统等。 应注意的是，数据采集时，薄膜可能存在的不稳
内容预览
