微纳米台阶高度（深度）标准样板校准规范

Calibration Specification forMicro/Nano-Step Height/DepthStandards

JJF（沪）59-2018现行计量规范

标准状态

发布于：2019-02-01

实施于：2019-03-01

废止

标准号JJF（沪）59-2018

标准状态现行

发布日期2019-02-01

实施日期2019-03-01

技术归口上海市市场监督管理局

起草单位上海市计量测试技术研究院、中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所、中国计量科学研究院、上海交通大学

起草人蔡潇雨(上海市计量测试技术研究院)、朱振宇(中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所)、张波(上海市计量测试技术研究院)、施玉书(中国计量科学研究院)、陈欣(上海交通大学)

本规范适用于高度在5nm到1000nm之间的微纳米台阶高度（深度）标准样板的校准，对于高度不超过6000nm的台阶高度（深度）标准样板可参照本规范执行。