气相沉积薄膜与基体附着力的划痕试验方法
标准状态
发布于：1997-04-15
实施于：1998-01-01
废止
基本信息
标准简介
本标准规定了测定气相沉积TiN|(x)等硬质薄膜-基体界面耐金刚石压头划剥性能的试验方法。 本标准适用于气相沉积的硬质薄膜，也适用于气相沉积的注滑薄膜。 对任何特定的应用，所规定的试验方法可用补充资料加以完善。这些资料应来自相应的国际标准、先进工业国家标准或国家标准、行业标准及其他相应文件，必要时，也可由测试和送样双方协商提出相应文件。
内容预览
本标准规定了测定气相沉积TiN|(x)等硬质薄膜-基体界面耐金刚石压头划剥性能的试验方法。 本标准适用于气相沉积的硬质薄膜，也适用于气相沉积的注滑薄膜。 对任何特定的应用，所规定的试验方法可用补充资料加以完善。这些资料应来自相应的国际标准、先进工业国家标准或国家标准、行业标准及其他相应文件，必要时，也可由测试和送样双方协商提出相应文件。