微束分析扫描电子显微术图像锐度评估方法

Microbeam analysis—Scanning electron microscopy—Methods of evaluating image sharpness

GB/T 33838-2017现行国家标准

标准状态

发布于：2017-05-31

实施于：2018-04-01

废止

标准号GB/T 33838-2017

标准状态现行

发布日期2017-05-31

实施日期2018-04-01

中国标准分类号G04 基础标准与通用方法

国际标准分类号71.040.40 化学分析

主管部门国家标准委

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

起草单位中国科学技术大学物理学院

起草人丁泽军、阮瞩

本标准规定了用于评估扫描电子显微镜（SEM）生成的数字图像锐度的3种方法：傅立叶变换（FT)法、衬度一梯度（CG）法、导数（DR）法。