集成电路器件用镍钒合金靶材
标准状态
发布于：2013-10-17
实施于：2014-03-01
废止
基本信息
YS/T 936-2013
现行
2013-10-17
2014-03-01
工业和信息化部
全国有色金属标准化技术委员会
有研亿金新材料股份有限公司、北京有色金属研究总院等
董亭义、何金江 等
标准简介
本标准规定了集成电路器件用镍钒合金溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及订货单或合同内容。本标准适用于电子薄膜制造用的各类镍钒合金溅射靶材。
内容预览
本标准规定了集成电路器件用镍钒合金溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及订货单或合同内容。本标准适用于电子薄膜制造用的各类镍钒合金溅射靶材。