微束分析 电子探针显微分析X射线能谱仪主要性能参数及核查方法
Microbeam analysis—Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy dispersive X-ray spectrometers for use in electron probe microanalysis
标准状态
发布于：2015-10-09
实施于：2016-09-01
已废止
基本信息
GB/T 20726-2015
已废止
2015-10-09
2016-09-01
国家标准委
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
GB/T 20726-2006
中国科学院地质与地球物理研究所
曾荣树、徐文东、毛骞、马玉光
标准简介
本标准规定了表征以半导体探测器、前置放大器和信号处理系统为基本构成的X-射线能谱仪（EDS）特性最重要的性能参数。本标准仅适用基于固态电离原理的半导体探测器能谱仪。本标准规定了与扫描电镜（SEM）或电子探针（EPMA）联用的EDS性能参数的最低要求以及核查方法。至于实际分析过程，在ISO 22309和 ASTM E1508 中已有规范，不在本标准范围之内。
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