洁净室及相关受控环境 第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级
Cleanrooms and associated controlled environments—Part 8: Classification of air cleanliness by chemical concentration (ACC)
标准状态
发布于：2021-08-20
实施于：2022-03-01
废止
基本信息
GB/T 25915.8-2021
现行
2021-08-20
2022-03-01
国家标准委
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
GB/T 25915.8-2010
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标准简介
本文件依据洁净室及相关受控环境空气中具体化学物质（种、组或类）的浓度，对空气化学污染进行分级。同时，本文件分级技术要求，给出了包括检测方法、分析方法和时间加权系数在内的规程。 本文件目前只考虑洁净室运行工况下空气中10°g/m3~10-12g/m3的化学污染物浓度。 本文件不涉及那些空气中虽有化学物质存在、但不认为对产品或工艺有危害风险的行业、工艺和生产。 本文件无意探讨空气化学污染物的特性。 本文件不包含对表面化学污染的分级。
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