洁净室及相关受控环境 第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求
Cleanrooms and associated controlled environments—Part 12: Specifications for monitoring of air cleanliness by nanoscale particle concentration
标准状态
发布于：2021-10-11
实施于：2022-05-01
废止
基本信息
GB/T 25915.12-2021
现行
2021-10-11
2022-05-01
国家标准委
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
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标准简介
本文件给出了监测粒径限值不超过0.1μm(100nm）的“纳米尺度”粒子浓度的技术要求。 本文件给出的监测技术要求主要用于“动态”。 注1：本文件提及的“纳米尺度粒子”是指所有在1维上（纳米片）、2维上（纳米纤维）或3维上（纳米粒子）具有纳米尺度的纳米物质。 注2：请注意，洁净室内粒子的实际特性是由粒子的来源及其物理特性所决定的。 注3：本文件未考虑健康与安全事项。
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