洁净室及相关受控环境 第8部分:空气分子污染分级
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 8: Classification of airborne molecular contamination
标准状态
发布于:2011-01-14
实施于:2011-06-01
已废止
基本信息
GB/T 25915.8-2010
已废止
2011-01-14
2011-06-01
国家标准委
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
中国电子工程设计院、北京希达建设监理有限责任公司、苏州华泰空气过滤器有限公司等、北京世源希达工程技术公司、中电投工程研究检测评定中心
王尧、蔡杰、张申元、徐勤、王大千、张利群
标准简介
GB/T 25915的本部分依据洁净室及相关受控环境空气中具体化学物质(种、组、类)的浓度,对空气分子污染(AMC)进行分级。同时,本部分在分级技术要求中,给出了包括检测方法、分析方法和时间加权系数的规程。 本部分目前只考虑洁净室运行工况下l0 0g/m3~l0-12g/m3的AMC浓度。 本部分不涉及那些虽有空气分子物质存在、但不认为对产品或工艺有风险的行业、工艺和生产。 本部分无意探讨空气分子污染物的特性。 本部分不包含对表面分子污染的分级。