真空技术 复合分子泵
标准状态
发布于:2007-08-28
实施于:2008-02-01
已废止
基本信息
JB/T 10771-2007
已废止
2007-08-28
2008-02-01
国家发展和改革委员会
全国真空技术标准化技术委员会
深圳大学、北京中科科仪技术发展有限公司等
储继国、张勤德 等
标准简介
本标准规定了复合分子泵的型式和基本参数,技术要求,测试方法,检验规则,标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于具有前级泵、变频电源的复合分子泵(以下简称泵)。
本标准规定了复合分子泵的型式和基本参数,技术要求,测试方法,检验规则,标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于具有前级泵、变频电源的复合分子泵(以下简称泵)。