电子工业用气体氮

Gases for electronic industry--Nitrogen

GB/T 16944-1997已废止国家标准

标准状态

发布于：1997-08-13

实施于：1998-05-01

已废止

标准号GB/T 16944-1997

标准状态已废止

发布日期1997-08-13

实施日期1998-05-01

中国标准分类号G86 工业气体与化学气体

国际标准分类号71.100.20 工业气体

主管部门国家标准化管理委员会

技术归口全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位化学工业部西南化工研究院

GB/T 16944-1997 电子工业用气体氮本标准规定了电子工业用液态和气态氮的技术要求、检验方法以及包装、标志等，适用于从分离空气或氨还原法制得的氮。本标准被GB/T 16944-2009 电子工业用气体氮代替