电子工业用气体氢

Gases for electronic industry--Hydrogen

GB/T 16942-1997已废止国家标准

标准状态

发布于：1997-08-13

实施于：1998-05-01

已废止

标准号GB/T 16942-1997

标准状态已废止

发布日期1997-08-13

实施日期1998-05-01

中国标准分类号G86 工业气体与化学气体

国际标准分类号71.100.20 工业气体

主管部门国家标准化管理委员会

技术归口全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位化学工业部西南化工研究院

GB/T 16942－1997 电子工业用气体氢本标准被GB/T 16942-2009 电子工业用气体氢代替