电子工业用气体硅烷

Gas for electronic industry--Silane

GB/T 15909-1995已废止国家标准

标准状态

发布于：1995-12-20

实施于：1996-08-01

已废止

标准号GB/T 15909-1995

标准状态已废止

发布日期1995-12-20

实施日期1996-08-01

中国标准分类号G86 工业气体与化学气体

国际标准分类号71.100.20 工业气体

主管部门国家标准化管理委员会

技术归口全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位化工部西南化工研究院

GB/T 15909-1995 电子工业用气体硅烷本标准规定了电子工业用硅烷气体的技术要求、检验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求等。本标准被 GB/T 15909-2009电子工业用气体硅烷(SiH) 代替 GB/T 15909-2009 电子工业用气体硅烷(SiH4)