真空技术术语

Vacuum technology - Terminology

GB/T 3163-2007已废止国家标准

标准状态

发布于：2007-12-20

实施于：2008-06-01

已废止

标准号GB/T 3163-2007

标准状态已废止

发布日期2007-12-20

实施日期2008-06-01

中国标准分类号J78 真空技术与设备

国际标准分类号23.160 真空技术

主管部门中国机械工业联合会

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口中国机械工业联合会

代替标准GB/T 3163-1993

起草单位东北大学、沈阳真空技术研究所

起草人王学智、张世伟、王晓冬

本标准规定了真空技术方面的一般术语、真空泵及有关术语、真空计术语、真空系统及有关术语、检漏及有关术语、真空镀膜技术术语、真空干燥和冷冻干燥术语、表面分析技术术语和真空冶金术语。本标准适用于真空技术方面的技术文件、标准、书籍和手册等有关资料的编写。