电子工业用气体 高纯氨
Gases for electronic industry--High purity ammonia
标准状态
发布于:1993-08-26
实施于:1994-07-01
已废止
基本信息
GB/T 14601-1993
已废止
1993-08-26
1994-07-01
国家标准化管理委员会
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
化工部西南化工研究院
标准简介
GB/T 14601-1993 电子工业用气体 高纯氨 被GB/T 14601-2009代替
Gases for electronic industry--High purity ammonia
GB/T 14601-1993 电子工业用气体 高纯氨 被GB/T 14601-2009代替