电子工业用气体三氯化硼

Gases for electronic industry--Boron trichloride

GB/T 17874-1999已废止国家标准

标准状态

发布于：1999-09-16

实施于：2000-06-01

已废止

标准号GB/T 17874-1999

标准状态已废止

发布日期1999-09-16

实施日期2000-06-01

中国标准分类号G86 工业气体与化学气体

国际标准分类号71.100.20 工业气体

主管部门国家标准化管理委员会

技术归口全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位光明化工研究设计院

本标准规定了电子工业用三氯化硼气体的要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以粗制三氯化硼为为原料，采用吸附、蒸馏的方法提纯制得的三氯化硼，主要用于电子工业硅半导体器件和集成电路生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。