纳米级长度的扫描电镜测量方法通则
General rules for nanometer-scale length measurement by SEM
标准状态
发布于：2006-07-19
实施于：2007-02-01
废止
基本信息
GB/T 20307-2006
现行
2006-07-19
2007-02-01
国家标准委
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
中国科学院地质与地球物理研究所、中国科学院化学所、上海理工大学、同济大学、中国地质科学院矿产资源研究所
张训彪、曾荣树、廖宗廷、卢德生
标准简介
本标准规定了用扫描电镜测量纳米级长度的基本原则。适用于测量10nm～500nm的点或线的间距。
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