电子工业用气体 高纯氯
Gases for electronic industry--High purity chlorine
标准状态
发布于：2003-03-05
实施于：2003-08-01
已废止
基本信息
GB/T 18994-2003
已废止
2003-03-05
2003-08-01
国家标准化管理委员会
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
光明化工研究设计院
标准简介
本标准规定了电子工业用气体高纯氯产品的技术要求、试验方法、检验规则1,11t乏包装、标志、运输及贮存和安全要求。 本标准适用于以工业液氯为原料，采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规模集成电路、光导纤维、高温超导、铝加工等高新技术领域。 分子式：Cl2。 相对分子质量：70．906(按1999年国际相对原子质量)。 101．3 kPa下的沸点：一34．O5℃。 101．3 kPa下的熔点：一l01．0。C。 101．3 kPa及20℃下气体的密度：2．9
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