平面等厚干涉仪校准规范

Calibration Specification for Flat Equal Thickness Interferometers

JJF 1100-2016现行计量规范

标准状态

发布于：2016-11-30

实施于：2017-05-30

废止

标准号JJF 1100-2016

标准状态现行

发布日期2016-11-30

实施日期2017-05-30

发布部门国家质量监督检验检疫总局

技术归口全国几何量工程参量计量技术委员会

代替标准JJF 1100-2003

起草单位中国测试技术研究院、中国计量科学研究院

起草人冉庆、张恒、赵小萍、康岩辉

本规范适用于平面等厚干涉仪的校准。平面等厚干涉仪（以下简称仪器）是采用等厚光波干涉原理，用于物体表面平面度测量（或检测）的光学仪器。按仪器结构分为不带标准平面平晶和带标准平面平晶的两种平面等厚干涉仪。