洁净室及相关受控环境 空气化学污染控制指南
Cleanrooms and associated controlled environments—Guidelines for airborne chemical contamination control
标准状态
发布于：2018-06-07
实施于：2018-10-01
已废止
基本信息
GB/T 36306-2018
已废止
2018-06-07
2018-10-01
国家标准委
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
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标准简介
本标准提出了洁净室及相关受控环境的空气化学污染控制的检测、控制等指南。 本标准适用于微电子、光电子工厂以及特殊需求的生产、研究等洁净室及相关受控环境的空气化学污染控制。 本标准不适用于核能和军事应用。
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