半导体器件扩散炉能耗分等

JB/T 5630-1991已废止行业标准

标准状态

发布于：1991-08-27

实施于：1992-07-01

已废止

标准号JB/T 5630-1991

标准状态已废止

发布日期1991-08-27

实施日期1992-07-01

中国标准分类号J01 技术管理

国际标准分类号21.010 机械系统和通用件综合

发布部门机械电子工业部

本标准规定了半导体器件扩散炉（以下简称扩散炉）能耗分等。本标准适用于电子工业企业半导体器件制造过程中用作各种扩散、氧化、退火和合金工艺以及对其他材料进行特殊处理的扩散炉。