铂靶
标准状态
发布于：2012-11-07
实施于：2013-03-01
废止
基本信息
YS/T 791-2012
现行
2012-11-07
2013-03-01
工业和信息化部
全国有色金属标准化技术委员会
有研亿金新材料有限公司
王永辉、朱晓光
标准简介
本标准规定了铂靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及合同或订货单。本标准适用于半导体器件用的各类铂溅射靶材，其他用途的铂靶材也可参照使用。
内容预览
本标准规定了铂靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及合同或订货单。本标准适用于半导体器件用的各类铂溅射靶材，其他用途的铂靶材也可参照使用。