椭偏仪校准规范

Calibration Specification for Ellipsometers

JJF 1932-2021现行计量规范

标准状态

发布于：2021-12-08

实施于：2022-06-08

废止

标准号JJF 1932-2021

标准状态现行

发布日期2021-12-08

实施日期2022-06-08

发布部门国家市场监督管理总局

技术归口全国光学计量技术委员会

代替标准JJF1497,GJB/J5463,SEMIE141-0705,HandbookofEllipsometry椭偏术手册HGTompkinsandEAIrene(eds.)WilliamAndrewPublishing2005,Ellipso

起草单位中国计量科学研究院、中国兵器工业第二〇五研究所

起草人刘文德、陈赤、王雷

本规范适用于波长范围在250nm ~ 2000nm内的椭偏仪的校准。