电子级水电阻率的测试方法

Test methods for resistivity of electronic grade water

GB/T 11446.4-1997已废止国家标准

标准状态

发布于：1997-09-01

实施于：1998-09-01

已废止

标准号GB/T 11446.4-1997

标准状态已废止

发布日期1997-09-01

实施日期1998-09-01

中国标准分类号L90 电子技术专用材料

国际标准分类号31.030 电子技术专用材料

主管部门工业和信息化部（电子）

技术归口工业和信息化部（电子）

起草单位中国科学院半导体研究所

本标准规定了电子级水的电阻率的测试方法。本标准适用于测试电阻率为（0.5～18）MQ·cm（25℃）的电子级水。