扫描电子显微镜校准规范

Calibration Specification for Scanning Electronic Microscopes (SEM)

JJF 1916-2021现行计量规范

标准状态

发布于：2021-07-28

实施于：2022-01-28

废止

标准号JJF 1916-2021

标准状态现行

发布日期2021-07-28

实施日期2022-01-28

发布部门国家市场监督管理总局

技术归口全国几何量长度计量技术委员会

代替标准JJG 550-1988

起草单位中国计量科学研究院

起草人李伟、高思田、施玉书

本规范适用于扫描电子显微镜的校准。