显微标尺校准规范
Calibration Specification for Micropattern Standards
标准状态
发布于：2021-07-28
实施于：2022-01-28
废止
基本信息
JJF 1917-2021
现行
2021-07-28
2022-01-28
国家市场监督管理总局
全国几何量长度计量技术委员会
山西省计量科学研究院、江苏省计量科学研究院、中国计量科学研究院
晏浩、王晓飞、孙双花、薛梓、杨伟敏
标准简介
本规范适用于刻线宽度为0.3μm 及以上一维或二维显微标尺的校准。
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