掠入射X射线反射膜厚测量仪器校准规范
Calibration Specification for Thin Film Thickness Measurement Instruments by Grazing Incidence X-Ray Reflectivity
标准状态
发布于：2017-02-28
实施于：2017-05-28
废止
基本信息
JJF 1613-2017
现行
2017-02-28
2017-05-28
国家质量监督检验检疫总局
全国新材料与纳米计量技术委员会
JJG629-2014,JJF1071
中国计量科学研究院
任玲玲、高慧芳
标准简介
本规范适用于掠人射X射线反射膜厚测量仪器（以下简称仪器）的校准。
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