电容薄膜真空计校准规范
Calibration Specification for Capacitance Diaphragm Vacuum Gauges
标准状态
发布于:2015-01-30
实施于:2015-04-30
废止
基本信息
JJF 1503-2015
现行
2015-01-30
2015-04-30
国家质量监督检验检疫总局
全国压力计量技术委员会
JJF1001-2011,JJF1008-2008,GB/T3163-2007,GB/T3164-2007,ISO/TS3567:2011(E),ISO/TS27893:2009(E),《真空技术手册》
中国计量科学研究院
于红燕、王金库
标准简介
本规范适用于测量范围在0.1Pa~133kPa的电容薄膜真空计的校准,其中包括绝压电容薄膜真空计和差压电容薄膜真空计。