电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚生产技术规范

DB13/T 5631-2022已废止地方标准

标准状态

发布于：2022-12-27

实施于：2023-01-27

已废止

标准号DB13/T 5631-2022

标准状态已废止

发布日期2022-12-27

实施日期2023-01-27

中国标准分类号L90 电子技术专用材料

国际标准分类号81.040.30 玻璃产品

发布部门河北省市场监督管理局

技术归口廊坊市市场监督管理局

提出单位廊坊市市场监督管理局

起草单位廊坊赫尔劳斯太阳能光伏有限公司

起草人贾建亮、贾建恩、孙艳、韩云涛、关海华、李继东

本文件规定了电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义、从业人员、设备、原辅材料、工艺过程、环境要求和管理要求。本文件适用于电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术。